(原标题:龙图光罩(688721.SH):珠海募投名堂瞻望在本年年底杀青第三代半导体掩模版的小规模试产)云开体育 格隆汇10月28日丨龙图光罩(688721.SH)收受特定对象调研时暗意,珠海募投名堂瞻望在本年年底杀青第三代半导体掩模版的小规模试产,瞻望于2025年杀青富厚量产,现在已动手28nm制程节点的盘算推算。 往更高的制程节点碎裂,主要难度:(1)跟着半导体工艺的继续晋升,掩模版的条款也越来越尖刻,因此半导体掩模版对最小线宽、位置精度、CD精度、弱势管控等均建议了更高的条款,工艺难度大,时候壁垒高。(2)在掩模版线缝水平的继续晋升的条款下,卑劣晶圆在使用光刻机曝光时光学效应影响越发显耀,会出现本色光刻图案与芯片设想图案失真变形的形状云开体育,严重影响芯片的性能与良率。(3)如若达到了先进制程,如28nm及以下,需要国内产业链落魄游的协同,现在外洋的买卖为止和时候禁闭,先进制程的分娩确立在一定进度上受到限 |